低温多晶硅薄膜的制造方法
2.低温多晶硅薄膜晶体管的制作方法
3.多晶硅衬底和太阳能电池的制备方法
4.制造低温多晶硅晶体管的多晶硅的组合设备工具
5.一种低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法
6.用于薄膜晶体管的多晶硅薄膜及使用该多晶硅薄膜的显示器件
7.多晶硅太阳能电池转换效率的测试方法
8.一种四氯化硅、多晶硅和石英玻璃的联合制备法
9.一种功率型多晶硅发射极晶体管
10.形成多晶硅层的方法以及制造多晶硅薄膜晶体管的方法
11.制作多晶硅薄膜的方法
12.多晶硅融化掺氮直拉生长微氮硅单晶的方法
13.薄膜晶体管的多晶硅层及其显示器
14.多晶硅薄膜的晶粒尺寸的控制及其检测方法
15.多晶硅薄膜结晶品质的检测装置及其检测与控制方法
16.利用准分子激光退火工艺制作多晶硅薄膜的方法
17.多晶硅层的制作方法
18.用三氯氢硅和四氯化硅混合源生产多晶硅的方法
19.多晶硅层的制作方法
20.光及电可编程硅化多晶硅熔丝器件
21.降低多晶硅层洞缺陷的方法
22.具多晶硅射极双极性晶体管的制造方法
23.多晶硅结晶方法、薄膜晶体管及其液晶显示器的制造方法
24.低温多晶硅有机电激发光装置的制法
25.轻掺杂漏极结构的低温多晶硅薄膜晶体管及其制作方法
26.一种单层多晶硅可电擦除可编程只读存储器
27.具有高介电常数的多晶硅栅间介电层的结构及其形成方法
28.多晶硅膜的制造方法
29.多晶硅间介电层的制造方法
30.评定多晶硅的方法和系统及制造薄膜晶体管的方法和系统
31.利用多晶硅的薄膜晶体管制造方法
32.去除多晶硅残留的方法
33.用于评估多晶硅薄膜的装置
34.采用多晶硅温度二极管的集成风速计及其制造方法
35.横向多晶硅PIN二极管及其制造方法
36.制备多晶硅颗粒的方法和装置
37.由多晶硅装料制备熔化的硅熔体的方法和装置
38.为快速电可擦除可编程只读存储器单元形成相对于有源区自对准的浮动栅多晶硅层的方法
39.蚀刻多晶硅层以形成多晶硅闸极的方法
40.液晶显示器的多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
41.在半导体制作过程中通过氘以形成多晶硅层的方法
42.玻璃衬底的预多晶硅被覆
43.避免于内存组件形成多晶硅纵梁的方法
44.多晶硅膜表面处理溶液和采用该溶液的多晶硅膜表面处理方法
45.N型掺杂多晶硅的制造方法
46.多晶硅的评价方法
47.多晶硅棒及其加工方法
48.多晶硅、其生产方法及生产装置
49.多晶硅的生产装置
50.制作多晶硅-多晶硅/MOS叠层电容器的方法
51.改善蚀刻多晶硅的均匀性和减少其蚀刻速率变化的方法
52.多晶硅薄膜的制造方法
53.用场效应管和双极基极多晶硅层制造多晶硅电容器的方法
54.多晶硅化钨栅极的制造方法
55.低温下用顺序横向固化制造单晶或多晶硅薄膜的系统和方法
56.用顺序横向固化制造均匀大晶粒和晶粒边界位置受控的多晶硅薄膜半导体的方法
57.多晶硅化学气相沉积方法和装置
58.单个多晶硅快闪电可擦除只读存储器及其制造方法
59.三层多晶硅嵌入式非易失性存储器单元及其制造方法
60.多晶硅电阻器及其制造方法
61.形成具有多晶硅-硅化钛结构的栅极的方法
62.高质量单晶制造中堆积和熔化多晶硅的方法
63.多晶硅二极管的静电放电保护装置
64.改进的多晶硅-硅化物
65.具有电流增益的单一多晶硅DRAM存储单元及其制造方法
66.用多晶硅炉料制备硅熔体的方法
67.多晶硅的腐蚀方法和腐蚀装置
68.一种用于表面工艺多晶硅结构释放的方法
69.具有半绝缘多晶硅吸杂位置层的半导体衬底及其制造方法
70.利用多晶硅半球的晶粒回蚀刻来形成电容器的方法
71.具有掺杂多晶硅层构成的互连的半导体器件的制造方法
72.利用放热反应制备多晶硅的方法
73.梯形多晶硅插塞及其制造方法
74.增进多晶硅电阻稳定性的结构及其方法
75.稳定的多晶硅电阻器和制造它的方法
76.多晶硅棒及其制造方法
77.多晶硅的制造方法和装置
78.多晶硅电阻及其制造方法
79.多晶硅表面金属杂质的清除
80.由多晶硅炉料制备熔硅熔料的方法
81.在多晶硅层表面上的高熔点金属硅化物层的制造方法
82.用干法刻蚀多晶硅的局部氧化硅法
83.在多晶硅上具有平滑界面的集成电路
84.一种多晶硅自对准双极器件及其制造工艺
85.绝缘层上多晶硅的激光加热再结晶方法
86.利用准分子激光再结晶工艺来制作多晶硅薄膜的方法
87.将非晶硅转换为多晶硅的方法
88.低温多晶硅薄膜电晶体的结构
89.低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
90.低温多晶硅薄膜的制造方法及低温多晶硅薄膜晶体管
91.多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
92.低温多晶硅薄膜晶体管及其多晶硅层的制造方法
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多晶硅生产技术及工艺光盘
